随着微/纳米科学与手艺(Micro/Nano Science and Technology)的生长,以自己形状尺寸细小或操作尺度极小为特征的微机械已成为人们熟悉和刷新微观天下的一种高新科技。微机械由于具有能够在狭窄空间内举行作业,而又不扰乱事情情形和工具的特点,在航空航天、细密仪器、生物医疗等领域有着辽阔的应用潜力,并成为纳米手艺研究的主要手段,因而受到高度重视并被列为21世纪关键手艺之首。
随着微/纳米科学与手艺(Micro/Nano Science and Technology)的生长,以自己形状尺寸细小或操作尺度极小为特征的微机械已成为人们熟悉和刷新微观天下的一种高新科技。微机械由于具有能够在狭窄空间内举行作业,而又不扰乱事情情形和工具的特点,在航空航天、细密仪器、生物医疗等领域有着辽阔的应用潜力,并成为纳米手艺研究的主要手段,因而受到高度重视并被列为21世纪关键手艺之首。